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中古機販売

ウェーハ厚さ測定機

300mmまたは200mmシリコンウェーハをカセットから取り出し、
設定されたパターンの厚さを非接触で測定する装置です。
ウェーハ搬送および測定ステージ部でのウェーハのチャックは、
バキュームを使用し裏面をチャックします。

厚さ測定機

装置寸法 W1,560×D1,000×H2,060(mm)
装置重量 400kg
電源 単相 100V
圧空 0.5Mpa以上
真空 真空ポンプ使用
測定方式 静電容量式
タクト φ300mm、TV-5測定時に90sec以内
精度 同ポイント繰り返し10回 σ=0.2μm以内
型式 2007年11月

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