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製品情報

ウェーハ移載機(WRMシリーズ)

本機械は、LOAD側FOUP/FOSB/オープンカセットからウェーハを取り出し、
UNLOAD側FOUP/FOSB/オープンカセットへ設定に従い収納する装置です。

WRM-02型

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