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製品情報

ウェーハ移載機(WRMシリーズ)

本機械は、LOADカセットからウェーハを取り出し、
ウェーハ裏面または表面のウェーハIDを読取り、UNLOADカセットへ並べ替え収納する装置です。
倍ピッチカセット、通常ピッチカセットの処理が可能です。

WRM-02型

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