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製品情報

半自動ウェーハ厚さ測定機(TMEシリーズ)

本装置は、シリコンウェーハの厚さを静電容量式センサにて非接触測定する装置です。
測定ポイントは中心1点・十字5点・十字9点から選択できます。
ウェーハセットは作業者、各ポイントへの移動、測定を自動で行う半自動機です。
測定データは付属パソコンに保存されます。

TME-000-R80

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