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製品情報

接触式厚さ測定機(STMシリーズ)

本機械は各種ウェーハの厚さ測定を手動操作にて行う装置です。
厚さ測定は、高精度接触式デジタルセンサを用い上下挟みこみ測定にて行います。
作業者がウェーハを測定ステージ上4本の位置決めピンに合せてセットし、
ステージを測定位置まで移動します。
ステージは90度回転する機構とし、十字5点の厚さ測定を行える構造です。
測定データは付属パソコンに保存されます。

ACI-02型

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