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製品情報

サファイアウェーハ厚さ仕分け機(WTS-05型)

サファイアウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じたソーティングを行う装置です。
仕分けすることにより厚さ異常のウェーハが次工程に流出することを防ぎます。
ウェーハ加工前後で厚さを測定することにより加工状態の管理も行えます。
また、カセットごとの厚さをそろえることにより、次工程での加工品質が向上します。

・ウェーハの厚さ測定パターンは直径方向の直線3点です。他の測定パターン(例:クロス5点、直線5点)にも
 対応いたします。
・測定した厚さにより、あらかじめ指定したカセットに仕分けを行います。厚さ仕分け区分は任意に設定が可能です。
・測定したデータは付属パソコンのExcelファイルに保存されます。保存のフォーマットは様々なご要望に応じることが
 可能です。
・Load/Unloadステージ数は様々なご要望に応じることが可能です。(例:ロードステージ3個、アンロードステージ6個)

WTS-05型

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