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製品情報

ウェーハ厚さ仕分け機(WTS-01,02型)

シリコンウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じて並べ替えを行う装置です。
ツインアームロボットを使用することにより効率的な動作が可能になり短時間処理が可能になりました。
測定データはExcelファイルに自動保存します。

・ウェーハの厚さ測定位置は中心1点です。多点測定が必要な場合もご相談ください。
・仕分けは同一ロットのカセットの中で並べ替えを行う方式ですので、仕分けランクが大きい場合は並べ替えを
 行わない割合が増え、従ってトータル処理時間は短縮します。
・バーコードリーダをご希望により付属します。

WTS-01,02型

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