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製品情報

ウェーハ厚さ測定機(TMR)

TMR-01型

シリコンウェーハを専用カセットからエッジハンドリングで取り出し、設定されたパターンの厚さ測定を行う装置です。
シリコンウェーハの外周3点を保持しθテーブルを回転させて、任意の場所の厚さを測定します。当社独自の「非接触アース」方式により、安全非接触での取り扱いが可能です。
バーコードリーダ及びレーザーマーク読み取り機能を装備し、読み取ったバーコードナンバー・二次元コードまたは文字をそれぞれExcelの指定セルに保存可能です。

TMR-01型

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