厚さ測定機 TME-11型 本機械はφ8”シリコン製ウエハの厚さ測定を行う装置です。 Siウェーハの厚さ及びSi段差部の各種測定を非接触、自動測定行う装置です。 ・前機種TME-06型より、操作性と機構等改善を行いました。 機構はシンプル化を行い、操作性はオペレータの利便性を優先項目として改善を行いました。 ・3種類のセンサを設けて多種多様な測定が可能になりました。 ・SECS通信、HSMS通信によるHOST通信に対応しています。 この製品についてお問い合わせ 一覧から製品を探す