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製品情報

厚さ測定機 (TME-11型)

本機械はφ8”シリコン製ウエハの厚さ測定を行う装置です。
Siウェーハの厚さ及びSi段差部の各種測定を非接触、自動測定行う装置です。

・前機種TME-06型より、操作性と機構等改善を行いました。
   機構はシンプル化を行い、操作性はオペレータの利便性を優先項目として改善を行いました。
・3種類のセンサを設けて多種多様な測定が可能になりました。
・SECS通信、HSMS通信によるHOST通信に対応しています。

TME-11型

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