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製品情報

ウェーハ厚さ測定機 (TME-07型)

シリコンウェーハを専用カセットから取り出し、設定したポイントの厚さを計測する装置です。
・静電容量センサーにより非接触にて、ウェーハ厚さ測定を行います。
・レシピ設定によりウェーハサイズ変更が可能で、段取り替え作業は不要です。
・ウェーハ厚さは100μm~1800μmに対応します。(ウェーハサイズによります。)
・測定ポイントは中心1点、十字測定をレシピにて設定します。十字測定時のポイント数、位置の指定も可能です。
・測定したデータは、付属パソコンに保存します。

TME-07型

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