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製品情報

MEMSウェーハ厚み・段差測定機 (TME-06型)

Si段差加工されたMEMS用Siウェーハの厚さ及び、Si段差部の各種測定を非接触、自動にて行う装置です。
・光学式厚み測定器、レーザ変位計、画像処理使用により、Si段差付きウェーハの以下の項目の非接触測定を
 行います。
   ①Siウェーハ厚み測定 ②Si段差測定 ③Si段差底部厚み測定 ④Si段差開口部寸法
     (測定項目は御要望に応じます。御相談下さい。)
・ウェーハのカセットからの取出し、測定部への搬送、カセットへの収納はウェーハ移載ロボットによる自動搬送で
 行います。
・ウェーハ移載ロボットはベルヌーイ式ハンドを採用し、薄く、ソリのあるウェーハの搬送に対応します。
・測定データは、付属パソコンのモニタ表示の他、CSV形式で保存します。
・HOST通信による自動運転の対応も可能です。
・FFU(PTFE仕様)搭載、オールステンレスフレーム採用により高クリーン環境に対応可能です。

TME-06型

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