MEMSウェーハ厚み・段差測定機 TME-06型

Si段差加工されたMEMS用Siウェーハの厚さ及び、Si段差部の各種測定を非接触、自動にて行う装置です。

・光学式厚み測定器、レーザ変位計、画像処理使用により、Si段差付きウェーハの以下の項目の非接触測定を行います。

　　　①Siウェーハ厚み測定　②Si段差測定　③Si段差底部厚み測定　④Si段差開口部寸法

　 　　　（測定項目は御要望に応じます。御相談下さい。）

・ウェーハのカセットからの取出し、測定部への搬送、カセットへの収納はウェーハ移載ロボットによる自動搬送で行います。

・ウェーハ移載ロボットはベルヌーイ式ハンドを採用し、薄く、ソリのあるウェーハの搬送に対応します。

・測定データは、付属パソコンのモニタ表示の他、CSV形式で保存します。

・HOST通信による自動運転の対応も可能です。

・FFU(PTFE仕様)搭載、オールステンレスフレーム採用により高クリーン環境に対応可能です。