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製品情報

SiCウェーハ厚さ測定機 (TME-05型)

ガラス板に貼り付けられたSiCウェーハの厚みと接着剤の厚み測定及び、SiCウェーハ単体の厚みを測定する装置です。
・厚さは、光学式プローブ/センサにて非接触測定します。
・ポーラスチャック式ウェーハステージを採用し、薄いウェーハを均一に保持します。
・測定データは、付属パソコンのモニタ表示の他、CSV形式で保存します。またグラフィカル表示も可能です。
・カメラによる外観撮像が可能です。(オプション)
・Siウェーハ(テープ付含む)の厚み測定も可能です。

TME-05型

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