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製品情報

ウェーハ厚さ測定機(TMEシリーズ)

TME-02A型/TME-02B型

シリコンウェーハを専用カセットからエッジハンドリングで取り出し、設定されたパターンの厚さ測定を行う装置です。
シリコンウェーハの外周3点を保持しθテーブルを回転させて、任意の場所の厚さを測定します。
当社独自の「非接触アース」方式により、安全非接触での取り扱いが可能です。
バーコードリーダを装備し、読み取ったバーコードナンバーをExcelの指定セルに保存可能です。

TME-03型

シリコンウェーハを専用カセットから取り出し、設定されたパターンの厚さ測定を行う装置です。 シリコンウェーハ搬送及び測定ステージ部でのチャックは、バキュームを使用し裏面をチャックします。

TME-02A型/TME-02B型 TME-03型

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