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製品情報

手動厚さ測定機(STM-07型)

本機械は、φ2”、φ4”またはφ6”サイズの化合物半導体ウェーハの厚さ測定を、
手動操作にて行う装置です。
厚さ測定は、光学センサを用い、ウェーハ単体は挟み込み測定、
定盤貼付けウェーハは片側測定にて行います。
それぞれの測定を行うため、測定ステージは2種類用意しセンサを付け替えて測定します。

STM-07型

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