HOME > 製品情報 > 半導体関連 > 測定装置 > STM

製品情報

手動式ウェーハ厚さ測定機(STM-06型)

本機械は、φ4"以下の各種素材ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。
厚さ測定は、共焦点色収差センサを用い、片側測定にてブロックゲージまたは
基準ウェーハとの差により、測定対象ウェーハの厚さ測定を行います。

・手動式のハンドルと目盛により、決められた位置の測定が可能となります。
・ウェーハを真空吸着によりステージ上に固定します。測定によるコスレキズ等を防ぎます。
・測定したデータは付属パソコンのEXCELファイルに保存されます。PC上では測定結果を
   見やすく表示します。

STM-06型

詳しくはこちら



一覧に戻る

ページの先頭へ