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製品情報

手動式ウェーハ厚さ測定機(STM-05型)

本機械は、φ100㎜~φ150㎜のSi、SiC等ウェーハの厚さ測定を、手動操作にて行う装置です。
厚さ測定は、高精度接触式デジタルセンサを用い、片側測定にて行います。

・本装置により、作業者がマイクロメータ等で測定することにより生じるバラつきを防ぎ、
   高精度で安定した測定を行うことが可能になります。
・卓上式で簡単に設置できます。本体を机上、制御盤は床上設置のような使い方も可能です。
・装置の操作とデータ保存はパソコン上で行ないます。
   ウィンドウズ上で動作する使いやすいソフトウェアです。

STM-05型

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