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製品情報

抵抗率測定機(RTS-02型)

シリコンウェーハの厚さと抵抗の測定を行い、指定された抵抗率の区分
または、抵抗率別かつ厚さ別の区分に分類する装置です。

・カセットはローダ側12個アンローダ側15個設置可能です。
・搬送はローダ、アンローダの搬送はシングルアームロボットを使用し真空吸着方式で搬送します。
・測定データはパソコンに転送されます。

RTS-02型

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