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製品情報

【開発】φ450mmウェーハ厚さ測定機(FTM-01型)

本装置は大口径のシリコーンウェーハ測定機として開発した装置です。

・シリコンウェーハの厚さ測定を非接触にて行います。
・測定器はレーザ測長器を使用して厚さを測定します。
・厚さ測定データはPCに保存されます。
・測定データは以下の表示が可能です。
  1.多点測定表示
  2.断面厚さ測定表示
  3.厚さ測定マップ表示
・写真表示測定器は手動測定機を示しますが、カセット等に収納されたシリコンウェーハの自動測定も可能です。

FTM-02型

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