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製品情報

半導体基板直径装置(DMC-03型)

Green LED光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ(基準ウェーハ)
との比較により直径を測定する装置です。
直径測定値(平均直径値等)を付属パソコンにエクセル形式で保存します。

・DMC-02型より測定可能なウェーハサイズが増えました。
  ※3"、4"、5"、6"に対応可能です。又、多点測定や不透明、半透明にも対応可能です。
・従来、ノギス等で測定するため発生していた、作業者による測定のばらつきを抑えることができます。
・平均直径値、最大直径値、最小直径値、相対標準偏差等も算出しエクセル形式での保存が可能です。

DMC-03型

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