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製品情報

非接触式 直径測定器(DMC-02型)

レーザ光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ(基準ウェーハ)との比較により直径を測定する装置です。

・非接触にてウェーハの直径を測定します。
・ステージを回転する事で、A直径(3ポイント)・B直径を測定することが出来ます。
・バーコードリーダにてLOT NO. 等の読込が出来ます。
・測定値は、付属パソコンにExcel形式にて保存します。

DMC-02型

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