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製品情報

非接触式 直径測定器(DMC-01型)

画像処理によりウェーハの端面を検出し、直径を測定する装置です。

・非接触にてウェーハの直径を測定します。
・ステージを回転することでオリフラ面の直径やノッチの深さにも対応します。
・カメラ取り付け部分は上下方向に手動調整が可能な機構となっています。

DMC-01型

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