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製品情報

P/N判定、比抵抗測定仕分機(CJT-01型)

φ4”、5”、6”、8”インチSiウェーハの厚さ測定、表裏面P/N判定、比抵抗測定を行い
その結果によりあらかじめレシピにて設定したカセットに仕分けを行います。

・厚さ測定のみ、P/N判定のみ、比抵抗測定のみなど、レシピの設定次第で何通りもの仕分け動作を
   選択できます。
・測定したデータは付属パソコンのEXCELファイルに保存されます。保存のフォーマットは様々な
   ご要望に応じることが可能です。

CJT-01型

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