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製品情報

厚さ測定機(ATM-01型)

エッチング装置へ組込み、処理前後の厚み測定を行う装置で、エッチングレート
の管理を行う為の測定機です。ウェーハ搬送はエッチング装置本体のロボットにて
行います。装置はローダ側とアンローダ側に各1台ずつ設置します。

・静電容量型のセンサーを使用し、非接触で多点の厚さ測定が可能です。
・測定前にセンサは校正用ゲージを使用し、自動で校正を行います。
・測定位置、測定点数はお客様のご要望に応じます。

ATM-01型 ATM-01型

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