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製品情報

省力化装置

  • 反転移載機 WRM
    反転移載機
    WRM-02
  • ハンドリング装置 CHI
    ハンドリング装置
    CHI-02
  • ウェーハローダ SWL
    ウェーハローダ
    SWLシリーズ
  • ウェーハシュータ SWU
    ウェーハシュータ
    SWU-01
  • ラップ機仕込取出し装置 LLU
    ラップ機
    仕込取出し装置

    LLU-01
  • 簡易洗浄機 WCM-01
    簡易洗浄機
    WCM-01
  • ウェーハ乾燥機 WCM-02
    ウェーハ乾燥機
    WCM-02
  • 容器回転装置 BRI
    容器回転装置
    BRI-01
  • チップ移載機
    チップ移載機
    CRM-01
  • ウェーハ取出し収納機 WLU
    ウェーハ取出し収納機
    WLU-01
  • 25枚一括移載機 WTI
    25枚一括移載機
    WTI-01
  • ノッチ・オリフラ自動整列機 AAM
    ノッチ・オリフラ
    自動整列機

    AAM-01
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