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製品情報

25枚一括移載機(WTI-01型)

本機械は、φ200mmウェーハのカセットtoカセット移載を、手動操作にて行う装置です。

・ウェーハをカセットに接触させず、25枚一括で持ち上げて移載します。
・移動軸にメカストッパを設け、操作ミスによるウェーハ破損を防ぎます。

WTI-01型

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