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製品情報

反転移載機(WRM-02型)

シリコンウェーハを反転移載する装置です。

・シリコンウェーハを外周ハンギング方式を取り扱うため、極薄ウェーハの移載が可能です。
・ロボットのハンドにはセラミックを、反転部のクランプにはテフロンを使用しています。
・キャリアポートは3箇所あり、2箇所をロード及びアンロードとして使用し、残り1個をバッファとして使用します。

WRM-02型

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