反転移載機 WRM-02型

シリコンウェーハを反転移載する装置です。

ツインアームロボットを使用し、シリコンウェーハを外周ハンギング方式で取り扱います。

反転部はシリコンウェーハ周辺部をクランプし回転させます。

 

・シリコンウェーハを外周ハンギング方式を取り扱うため、極薄ウェーハの移載が可能です。

・ロボットのハンドにはセラミックを、反転部のクランプにはテフロンを使用しています。

・キャリアポートは3箇所あり、2箇所をロード及びアンロードとして使用し、残り1個をバッファとして使用します。