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製品情報

ウェーハ取出・収納機(WLU-01型)

φ6、8インチウェーハのカセットから取出しを行う【ロードモード】、
カセットへ収納する【アンロードモード】、
ロードモードとアンロードモードを交互に行う【出し入れモード】の3種類の動作が行える装置です。

・カセット上からか下からの連続動作。また、指定したSLOTからの収納、取り出し動作が可能です。
・ストッパ付キャスターにて、使用したい場所へ移動してお使いいただけます。
   電源も100V一般コンセントへ差込むだけでOKです。

WLU-01型

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