ウェーハ乾燥機 WCM-02型

両面研磨後の洗浄された300mmウェーハを乾燥させる装置です。

 

・エアーブローにてウェーハを乾燥させます。

・圧縮空気で駆動するため電気は使用しません。

・ウェーハのサイズはご相談ください。