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HOME > 製品情報 > 半導体関連 > 省力化装置 > WCM-01
φ300 mmシリコンウェーハを簡易洗浄(ブラシ+水)する装置です。 ・ウェーハのセットは作業者が行います。 ・洗浄後はエアーナイフウェーハ表裏面の水滴を乾燥します。 ・ウェーハはエッジクランプにて取扱い、表裏面には接触しません。
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