ウェーハ簡易洗浄機（WCM-01型）

φ300 mmシリコンウェーハを簡易洗浄（ブラシ+水）する装置です。

・ウェーハのセットは作業者が行います。
・洗浄後はエアーナイフウェーハ表裏面の水滴を乾燥します。
・ウェーハはエッジクランプにて取扱い、表裏面には接触しません。

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