ウェーハシュータ SWU-01型

加工の終了したφ300 mmウェーハを1枚ずつテフロンカセットへ収納し水没させるための装置です。

ウェーハは作業者により加工装置から吸着パッドでウェーハシュータ部へ置かれた後にステージの傾斜と純水の吐出を利用してテフロンカセットへ滑り込ませ収納します。

 

・ウェーハがテフロンカセット内へ収納されると、自動的に次のウェーハを収納できる位置まで下降します。

・テフロンカセットは4個セットできます。

・左右二列でカセット4個収納ですが、一列でカセット2個収納もあります。