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製品情報

外観検査装置(SWL-05)

φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査と厚さ測定を行う装置です。

・JOGスティック操作により目視検査が簡単に行えます。
・ノッチ位置によるアライメントを行い静電容量センサを用いて挟み込み測定を行います。

SWL-05型

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