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製品情報

ウェーハハンドリング装置(CHI-02型)

シリコンウェーハのP/N判定・外観検査を行うためにハンドリングする装置です。
ウェーハを真空吸着方式で取り扱います。
従来、作業者が手で行っていたウェーハのハンドリング作業を、この装置を使用することで、品質の向上を図ることができます。

・反転機能付きのツインアームロボットを使用することにより、効率よくウェーハの搬送が行えます。
・P/N判定は接触式にて行います。
・検査ステージでは
  ウェーハの吸着
  前後の傾斜(片側最大約45°)
  360°回転
  ユニット全体の揺動(片側最大約45°)
 が可能です。
 自動動作・パルスジェネレーターによる手動操作も可能です。
・FOSBステージは上下段それぞれ5ステージ、計10ステージあります。
  タッチパネルでの設定により、
  ロードステージを1~8ステージ
  アンロードステージを1~8ステージ
 の範囲で任意に設定することが可能です。

CHI-02型

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