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製品情報

ウェーハ表面検査機(VSI-01型)

ポリッシュ加工後のウェーハの表面検査をする装置です。

・散乱光検出方式によりφ0.2μm以上の異物を検出します。
・裏面真空吸着とし、ウェーハ表面には接触しません。
・ウェーハサイズはご相談下さい。

ウェーハ表面検査装置 VSI

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