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製品情報

外観検査装置 (OSI-01型)

φ8インチシリコンウェーハの外観目視検査を行う半自動装置です。
カセット内ウェーハを検査ステージへ自動搬送を行います。
作業者による、合否判定結果によりウェーハを挿入するカセットを選択し搬送を行います。

・JOYスティック操作によるウェーハ姿勢操作で目視検査が簡単に行えます。
・外観不良がある箇所をPC操作により簡単マップ入力と表示ができます。

OSI-01型

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