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製品情報

ウェハ外観検査装置 (MWL-02型)

本機械は、半導体製造工程でφ8”ウェハのマクロ検査及びミクロ検査を行う装置です。
マクロ検査ではジョイスティック操作によりウェハ角度を自在に可変可能です。
また顕微鏡観察によるミクロ検査では接眼鏡筒とモニターでの観察を切換え可能です。
ウェハカセットは2個搭載可能です。

・他社同等機能を持ちながら安価に提供できます。
・必要機器を絞り込み低コストでの提供も可能です。
・本機械を基本として、お客様専用機にカスタマイズが可能です。
・装置上でレシピ作成が可能です。
   又、ミクロ検査を行いながらレシピ作成とレシピ追加を行うことが出来ます。

MWL-02型

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