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製品情報

ウェーハインスペクション装置 (MWL-01型)

ウェーハのマクロ検査及び、顕微鏡によるミクロ検査を行う装置です。

・マクロ検査は、外周チャックを採用し、ジョイスティックにてウェーハ傾き,水平回転操作を行うことにより、
 ウェーハ表裏面の検査が可能です。
・ミクロ検査では、レシピにて検査ポイント指定が可能です。
・ミクロ検査結果は、ファイルに保存します。
・顕微鏡搭載のカメラ画像をPCに保存できます。
・ウェーハのカセットからの取出し、各検査部への搬送、カセットへの収納は
 ウェーハ移載ロボットによる自動搬送で行います。
・ウェーハ移載ロボットはベルヌーイ式ハンドを採用し、薄く、ソリのある
 ウェーハの搬送に対応します。
・FFU(PTFE仕様)搭載、オールステンレスフレーム採用により高クリーン環境に対応可能です。
・工場HOSTとの通信対応も可能です。

MWL-01型

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