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製品情報

外観検査装置(ACI-02型)

画像処理によりシリコンウェーハの表裏面傷を検出し、合否を判定する装置です。

・オプションで各種キズ・カケなどの検出に対応します。
・インライン化にも対応します。

ACI-02型

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