本文へ

測定器・加工機・専用機
自動化設備の製造販売
株式会社ジャステム

0258-47-2571

非接触式 直径測定器 DMC-02型

非接触式 直径測定器 DMC-02型
レーザ光にてウェーハ端面の検出を行い、校正用ウェーハ(基準ウェーハ)との比較により直径を測定する装置です。
 
・非接触にてウェーハの直径を測定します。
・ステージを回転する事で、A直径(3ポイント)・B直径を測定することが出来ます。
・バーコードリーダにてLOT NO. 等の読込が出来ます。
・測定値は、付属パソコンにExcel形式にて保存します。