厚さ測定機 ATM-01型

エッチング装置へ組込み、処理前後の厚み測定を行う装置で、エッチングレートの管理を行う為の測定機です。ウェーハ搬送はエッチング装置本体のロボットにて行います。装置はローダ側とアンローダ側に各１台ずつ設置します。

 

・静電容量型のセンサーを使用し、非接触で多点の厚さ測定が可能です。

・測定前にセンサは校正用ゲージを使用し、自動で校正を行います。

・測定位置、測定点数はお客様のご要望に応じます。