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測定器・加工機・専用機
自動化設備の製造販売
株式会社ジャステム

0258-47-2571

ラップ機 仕込み取り出し装置 LLU-01型

ラップ機 仕込み取り出し装置 LLU-01型
ラップ加工装置へφ150 mm及びφ125 mmシリコンウェーハの仕込み、取出しを行う装置です。
取り出したウェーハは1バッチごとに1枚の厚さ測定を行い、仕上がり厚さのOK/NG判定を行います。