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測定器・加工機・専用機
自動化設備の製造販売
株式会社ジャステム

0258-47-2571

ウェーハ表面検査機 VSI-01型

ウェーハ表面検査機 VSI-01型
ポリッシュ加工後のウェーハの表面検査をする装置です。
 
・散乱光検出方式によりφ0.2μm以上の異物を検出します。
・裏面真空吸着とし、ウェーハ表面には接触しません。
・ウェーハサイズはご相談下さい。