ウェーハ表面検査機 VSI-01型 ポリッシュ加工後のウェーハの表面検査をする装置です。 ・散乱光検出方式によりφ0.2μm以上の異物を検出します。 ・裏面真空吸着とし、ウェーハ表面には接触しません。 ・ウェーハサイズはご相談下さい。 この製品についてお問い合わせ 一覧から製品を探す